日本HEPHAIST内置升降机构的UVWZ平台四轴并联机构
创建时间：2021-06-29 09:51
UVW平台内置Z轴机构，更有效提高工件的超精密对位，缩短工位间调整时间、提升视觉聚焦能力。
特长：将高精度Z轴机构设计于双承重模块的超薄型UVW平台内部，减小断面高度。并列水平放置机构，四个轴的精度可以达到均衡额超精密。
产品型号：NAF4Z-ZZA60A PDF图纸下载：NAF4Z-ZZA60A.pdf
| 項目 | X軸 | Y軸 | θ軸 | Z軸 |
| サイズ | W320mm×D320mm×H131～161mm | |||
| ストローク | ±5mm | ±5mm | ±2.5° | +2mm～+30mm |
| 繰返し位置決め精度 | ±1μm | ±1μm | ±1″(計算値) | ±1μm |
| Z軸直交度 | 60μm/30mm | |||
| 移動時負荷容量 | 300N（垂直方向等分布荷重） | |||
| 静止時負荷容量 | 300N（垂直方向等分布荷重） | |||
| 本体重量 | 約52kg | |||
| 材質-表面処理 | 鉄系材料－低温黒色クロムめっき処理 | |||
| アルミ系材料－黒アルマイト処理 | ||||
| 潤滑材 | AFFグリス（低発塵グリス) | |||
| モータ型式 | HG-KR053 | HG-KR23B | ||
| 三菱電機製 | ||||
| ドライバ型式 | MR-J4-10A | MR-J4-20A | ||
| 三菱電機製 | ||||
| センサ型式 | EE-SX672（OMRON） | |||
