UVW平台规格(160*160mm) 型号:HEPHAIST_NAF3C-16K00P 日本产

项目
X轴Y轴θ轴
精度保证行程±5mm±5mm±3°
重复定位精度±0.7μm±0.7μm±2.5s(计算值)
空程lost motion2μm2μm7s(计算值)
平行度30μm
移动时最大负载300N(垂直方向等分布荷重)
静止时最大负载1000N(垂直方向等分布荷重)
本体重量约6kg
材质-表面处理铁系材料-低温镀铬处理
铝系材料-氧化铝膜处理
润滑脂
低发尘润滑脂(THK 制 AFF 润滑脂)
电机种 类: 5 相步进电机 0.75A/相(步进角:0.72°)
型 号: TS3664N16E2
制造商: 多摩川精机
传感器原点传感器 (A 接点) PM-L25(松下SUNX 制)
限位传感器 (B 接点) PM-L25(松下SUNX 制)
接头电机用接头:D02-M15PG-N-F0(日本航空电子工业制)
传感器用接头:D02-M15SG-N-F0(日本航空电子工业制)
接头位置:U 轴侧


重复定位精度(从任意1 点向相同方向作7 次往复,测每次停止的位置,读数最大差取1/2。)

测定器Agilent 激光测距器
测定温度22℃±3℃
设定速度5mm/秒(加減速时间:0.2 秒)
测定位置台面中间附近
测定点(X、Y轴)从-5mm到+5mm的每1mm间隔的11 点


空程(从正负方向向任意点作7 次重复动作测停止的点的平均值的差。)

测定器Agilent 激光测距器
测定温度22℃±3℃
设定速度5mm/秒(加減速时间:0.2 秒)
测定位置台面中间附近
测定点(X、Y轴)从-5mm到+5mm的每1mm间隔的11 点


台面相对于基座的平行度(测出台面4 角、中央附件共9 处各自相对的基座底部的高,取最大值和最小值的差。)

测定器电子千分表或3 坐标检测仪
测定温度22℃±3℃
测定位置台面上的任意9 点


出厂附带实际检测报告书(示例)

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UVW平台出厂检测项目及检查成绩书(HEPHAIST)

2020/7/23 13:43:00

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