HEPHAIST_UVW+Z轴升降平台搭载方案

品牌：HEPHAIST 日本产

用途：曝光机对位调整

产品规格

尺寸：400mm*480mm

重复定位精度：±1μm

静止时负载量：300N

移动时负载量：300N

表面弯曲：1μm

UVW平台+Z轴平台的整合构造方案，Z轴采用楔形机构实现了高分解能和高精度定位。使整体断面高度大幅降低，实现了平台的小型化。另外，可承接各种特殊设计方案，请联系我们。

专业代理销售HEPHAIST直线轴承,IKO滚针轴承,IKO直线导轨,NACHI轴承,NMB微型球轴承,NSK深沟球轴承,HEPHAIST球铰轴承，CCD视觉对位校准平台,直线电机,精密定位工作台,旋转定位平台等.正品保障,规格齐全,免费设计参考及技术咨询.IKO滚针轴承产品参数在线查询,提供CAD文件.欢迎技术咨询www.ikontc.com